マニホールド

DockweilerのUHP（Ultra High Purity：超高純度）マニホールドは、半導体業界における最も厳しい純度要件に対応するために開発されました。ごく微量の不純物でもプロセスの安定性に影響を及ぼす可能性のある高度な製造環境において、超高純度ガスを安全かつ確実に分配します。純度、品質、プロセス安全性を徹底的に追求したDockweilerのUHPマニホールドは、最新の製造設備の安定稼働に大きく貢献します。

システムには高品質なステンレス鋼材を使用し、電解研磨されたultron®をはじめとする、Dockweilerの実績ある表面品質に対応可能です。製造、洗浄、梱包は、ISOクラス4／米国連邦規格FED-STD-209Eクラス10に準拠した、管理されたクリーンルーム環境下で行われます。最新のオービタル溶接技術、常時実施されるクリーンルーム環境の監視、および厳格な品質検査により、最高水準の製品品質を確保します。

工場で事前製作されたUHPマニホールドは、組立、洗浄、検査を完了した設置可能な状態で納入されます。高い事前製作率により、現場で必要となる溶接箇所を大幅に削減し、パーティクルの発生源を最小限に抑えるとともに、立ち上げ期間を短縮します。すべてのシステムに対して、リークレート1 × 10⁻⁹ mbar·L/sまでの全数ヘリウムリークテストを実施し、包括的な技術文書と完全なトレーサビリティを備えて納入します。これにより、世界各地の極めて要求の厳しいUHP用途において、最大限の安全性と信頼性を確保します。

DockweilerのPCW（Process Cooling Water：プロセス冷却水）マニホールドは、半導体工場、ハイテク生産施設、最新のデータセンターにおけるプロセス冷却水の分配に、信頼性の高いソリューションを提供します。これらのマニホールドシステムは、お客様の仕様に合わせて個別に設計・製作され、各種試験を完了した設置可能なユニットとして納入されます。これにより、現場での設置作業を軽減し、工期を大幅に短縮できます。

システムには304Lまたは316Lステンレス鋼を使用し、お客様の仕様に応じたバルブ構成や、各種接続・カップリング方式に対応可能です。出荷前には、すべてのマニホールドを完全に組み立て、洗浄・梱包するとともに、厳格な品質検査を実施します。検査には、寸法検査、記録管理された溶接部検査、およびリークレート1 × 10⁻⁷ mbar·L/sまでの全数ヘリウムリークテストが含まれます。

特に大容量の冷却水システムでは、Dockweilerのオフサイト製造方式による大きなメリットが得られます。あらかじめ製作されたアセンブリを採用することで、現場で必要となる溶接作業を大幅に削減し、設置作業を簡素化するとともに、工期および計画の確実性を向上させます。また、包括的な技術文書とすべての構成部品に対する完全なトレーサビリティにより、要求の厳しい冷却水用途においても、長期にわたり信頼性とコスト効率に優れたソリューションを提供します。